汉承秦制，但较秦制更严密。在西汉，中央仍设御史大夫作为长官，御史中丞为副，兼掌皇帝机要秘书和中央监察之职。

在地方上，西汉初年废监御史，由丞相随时委派“丞相史”，分刺诸州。汉武帝时，为加强中央对地方的控制，全国分为13个监察区，叫州部，每个州部设刺史1人，为专职监察官,以“六条问事”,对州部内所属各郡进行监督。丞相府设司直，掌佐丞相举不法。朝官如谏大夫加官给事中，皆有监察劾举之权。郡一级有督邮，代表太守，督察县乡。宣帝时，会侍御史二人掌法律文书，也有评断决狱是非之权。因特别使命而设的符玺御史、治书御史、监军御史、绣衣御史（亦称绣衣直指）等，分别行使御史的职权。西汉末年，御史大夫更名大司空，御史府改作御史台，由御史中丞主管监察事务。东汉时，御史台称宪台，仍以御史中丞为长官，但职权有所扩大。御史台名义上转属少府，实为最高的专门监察机关。它与地位显要的尚书台、掌管宫廷传达的谒者台，同称“三台”。东汉侍御史，掌纠察；治书侍御史,察疑狱。把全国分成13个监察区,包括1个司隶(中央直辖区)和12个州。司隶设司隶校尉1人,地位极为显赫，朝会时，与尚书台、御史中丞一样平起平坐，号曰“三独坐”。司隶校尉负责监察除三公以外的朝廷百官和京师近郡犯法者。每州置1刺史，用以监察地方政情、受理案件、考核官吏。由于事权混杂，后来刺史逐渐变为凌驾于郡之上的一级地方行政长官，失去监察作用，故改称州牧，州也由监察区变为行政区，地方监察制度便基本瓦解